繼電器是真空系統自動控制的關鍵部件，是真空應用和真空獲取設備最常用的附件之一。它能可靠、準確地直接設定和控制真空系統(真空空間、容器或管道)的真空度，以滿足真空應用過程的特定要求。
真空繼電器的分類:
①排氣結構，共同特點是有排氣管，需要通過真空排氣臺排氣。如圖所示，銜鐵動作機構位于真空系統內部。通過控制流過線圈的電流產生的電磁力使置于真空中的鉸鏈銜鐵動作，帶動動觸頭動作，完成分閘或合閘動作。
(2)膜片結構，特點是通過真空焊接爐直接獲得真空系統，銜鐵機構位于真空室外部，銜鐵的運動通過彈性密封膜片傳遞到真空室內部。低，分斷速度快，觸點密封，不受環境氣壓、水分、灰塵或爆炸性氣體的影響，適合在惡劣環境下工作。
真空繼電器的性能:
1.真空繼電器是將觸頭置于抽高真空的玻璃外殼或陶瓷外殼中，以真空作為滅弧和絕緣介質的繼電器。
2.真空具有理想的絕緣性能，在理想狀態下可能達到80000V/mm的介電常數。因為真空中沒有氧氣，所以在使用過程中不會被氧化。這樣，真空繼電器在使用過程中具有小而穩定的接觸電阻。
3.真空具有良好的滅弧性能。真空中的電弧容易傳播，不易造成觸頭磨損，因此真空繼電器具有壽命長的特點，可配有負荷開關。一般來說，真空繼電器具有耐擊穿電壓高、滅弧速度快、開斷電流大、體積小、重量輕、使用壽命長等特點。廣泛應用于起搏器、核磁共振成像、高頻天線耦合器件、雷達、電容放電等領域。
4.電阻高，額定載流和開關電流大，接觸電阻小，運行穩定，噪音低，電極間分布電容和電感小，觸點間距小，勵磁功率低，分斷速度快，觸點密封，不受環境氣壓、水分、灰塵或爆炸性氣體的影響，適合在惡劣環境下工作。
